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Impact of Active Surface Area on Performance and Reliability of Tri-gate FinFET

Yi-Lin Yang, Chiao-Feng Chuang,Chih-Jui Lai,Wenqi Zhang, Yun-Hsuan Hsu, Chia-Jung Tsai, Wei-De Lin, Meng-Yen Lin,Wen-Kuan Yeh

SENSORS AND MATERIALS（2019）

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关键词
active surface area (SA),contact etch stop layer (CESL),FinFET
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