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Design Simulation and Process Realization of a Flexible MEMS Vector Hydrophone

Jiaxin Wu,Renxin Wang, Xiangkai Zhang, Haoxuan Li,Guochang Liu, Xuejing Dong,Wendong Zhang,Guojun Zhang

SENSOR REVIEW（2025）

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关键词

Flexible conformal,MEMS,Transfer printing,Vector hydrophone

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