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用于InGaAs单光子探测器的微透镜阵列及表征

ZHANG Chenyang,MO Defeng, XU Hongyan, MA Yingjie,GU Yi, LI Xue, SU Wenxian

Optics and Precision Engineering（2024）

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关键词
microlens array,photodetector,light energy utilization,rectangular aperture
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