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Efficient Nanopatterning of Ge Surface Induced by Oblique Argon Cluster Ion Beam

N. G. Korobeishchikov,I. V. Nikolaev, A. V. Lapega

Materials Letters（2024）

引用 1|浏览7
关键词
Surface nanopatterning,Gas cluster ion beam,Ion sputtering,Germanium,Nanoripples
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