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Effect of Annealing Treatment on the Optical Properties of Silicon Nitride Waveguides

A. A. Ershov, K. N. Chekmezov,A. P. Burovikhin,A. A. Nikitin,S. N. Abolmasov,A. A. Stashkevich,E. I. Terukov,A. V. Eskov,A. A. Semenov,A. B. Ustinov

Journal of the Russian Universities Radioelectronics（2024）

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关键词

photonic integrated circuits,optical waveguides,silicon nitride,annealing

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