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UV/Ozone-Treated and Sol–Gel-Processed Y2O3 Insulators Prepared Using Gelation-Delaying Precursors

Sangwoo Lee,Yoonjin Cho,Seongwon Heo,Jin-Hyuk Bae,In-Man Kang,Kwangeun Kim,Won-Yong Lee,Jaewon Jang

Nanomaterials（2024）

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关键词

sol-gel method,Y2O3,RRAM,gelation,UV/ozone

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