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Cross-evaluation of Critical Dimension Measurement Techniques

Timothee Choisnet, Abdelali Hammouti, Vincent Gagneur,Jerome Reche,Guido Rademaker,Guillaume Freychet, Guillaume Jullien,Julien Ducote,Patrice Gergaud,Delphine Le Cunff

JOURNAL OF MICRO-NANOPATTERNING MATERIALS AND METROLOGY-JM3（2024）

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关键词
critical dimension,critical dimension small-angle x-ray scattering,metrology,benchmark,optical critical dimension,SEM
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