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Study of Zinc-diffused InGaAs/InP Planar Infrared Detector Processed with Rapid Thermal Annealing

Jia-Sheng Cao,Tao Li,Yi-Zhen Yu,Chun-Lei Yu,Bo Yang,Ying-Jie Ma,Xiu-Mei Shao,Xue Li,Hai-Mei Gong

JOURNAL OF INFRARED AND MILLIMETER WAVES（2023）

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关键词
shortwave infrared,InGaAs detector,rapid thermal annealing,diffusion
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