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A Novel Multi-Axis Pendulum Sandwich Structure Accelerometer

Zhenyu Wei,Chaowei Si,Guowei Han,Yongmei Zhao,Jin Ning,Lu Jia, Yanping Zeng,Fuhua Yang

JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING（2023）

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关键词

pendulum,accelerometer,MEMS,through-silicon-via,glass reflow,multi-axis

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