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Characterization of Deep-Level Defects in Highly-Doped Silicon with Asymmetric Structure by Transient Capacitance Spectroscopy

Chixian Liu,Wei Dou,Changyi Pan,Ziwei Yin,Xiaoyan Liu, Jingwei Ling, Tianye Chen,Yufeng Shan,Jiaqi Zhu,Huiyong Deng,Ning Dai

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE（2023）

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