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2D Materials in the BEOL.

C. H. Naylor,Kirby Maxey,C. Jezewski,K. P. O'Brien,A. V. Penumatcha,M. S. Kavrik,B. Agrawal, C. V. Littlefield, J. Lux,B. Barley,Justin R. Weber,A. Sen Gupta,C. J. Dorow,N. Arefin,S. King,R. Chebiam, J. Plombon,S. B. Clendenning,U. E. Avci,Mauro J. Kobrinsky,M. Metz

2023 IEEE Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits)（2023）

引用 7|浏览18

关键词

TMD,2D FET,BEOL,2D Barriers,2D CMOS

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