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A Behavioral Non-Linear Modeling Implementation for MEMS Capacitive Microphones

Shubham, Mohsin Nawaz,Xin Song,Yoonho Seo, Mohammad Faisal Zaman,Michael L. Kuntzman,Michael Pedersen

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL（2024）

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关键词
MEMS Devices,MEMS,Nonlinear Energy Harvesting
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生成溯源树，研究论文发展脉络
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