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Study on Negative Bias Temperature Instability Induced Degradation of P-Type FinFETs by Distinguishing Fin Top and Fin Sidewalls

Wen-Kuan Yeh, Li-Quan Yang, Cheng-Hao Shen, Jhih-Hao Kong, Po-Yang Tseng,Yi-Lin Yang

ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGY（2022）

引用 1|浏览17

关键词

FinFET, Fin Top, Fin Sidewalls, Negative-Bias Temperature Instability (NBTI)

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