氮氩流量比与基底温度对射频溅射TiN薄膜性能的影响LI Xuerui,CAO Zhen,YU Gongqi,ZHANG Haiping,LI Wenbo,LI Jiongli,WANG XudongElectroplating & Finishing(2021)引用 1|浏览24AI 理解论文溯源树样例生成溯源树,研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要