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Effect of adding an upper-substrate holder in the quartz-tube MPCVD on plasma parameters

Chuanwen Geng,Zhibin Ma,Peng Zhao,Meihua Zeng,Xiaodong Zhang

VACUUM（2022）

引用 4|浏览23
关键词
Resonant cavity,Diamond coatings,MPCVD,Upper-substrate holder
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