高電圧入出力型フィン電界効果トランジスタ素子用の窒化した及び焼なました原子層堆積SiO 2 /高k/金属ゲートに及ぼす酸素プラズマの影響
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena（2017）
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