小型感性耦合射频等离子体中和器的实验研究Jian-wu HE,Long-fei MA,Sen-wen XUE,Chu ZHANG,Li DUAN,Qi KANGJournal of Propulsion Technology（2018）引用 7|浏览3AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
