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Process Technology for IBM 14-Nm Processor Designs Featuring Silicon-on-insulator FinFETs

S. R. Stiffler,R. Ramachandran,W. K. Henson, N. D. Zamdmer,K. McStay, G. La Rosa, K. M. Boyd,S. Lee,C. Ortolland,P. C. Parries

IBM Journal of Research and Development（2018）

引用 11|浏览25
关键词
Product design,Program processors,FinFETs,Silicon-on-insulator
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