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Quantitative analysis of diamond deposition reactor efficiency

A. Gicquel,N. Derkaoui,C. Rond,F. Benedic,G. Cicala,D. Moneger,K. Hassouni

Chemical Physics（2012）

引用 41|浏览12
关键词
Microwave plasma,Diamond deposition,Emission spectroscopy,Actinometry,Plasma modelling
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