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Resonance Frequency Dependence on Out-of-plane Forces for Square Silicon Membranes: Applications to a MEMS Gradiometer

I. Lucas,R. P. del Real,M. D. Michelena,V. de Manuel,M. Duch,J. Esteve,J. A. Plaza

Sensors and Actuators A Physical（2010）

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关键词
High-Frequency Applications
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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