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Evaluation of CP Shape Correction for E-Beam Writing
Masahiro Takizawa, Keita Bunya,Hideaki Isobe,Hideaki Komami,Kenji Abe,Masaki Kurokawa,Akio Yamada,Kiichi Sakamoto,Takayuki Nakamura, Kazusumi Kuwano, Masahiro Tateishi,Larry Chau
Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE (2012)
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MCC8: Throughput Enhancement of EB Direct Writer
Hideaki Komami,Masaki Kurokawa,Akio Yamada
Microelectronic Engineeringno. 8 (2011): 2009-2012
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