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Study on the Performance of GaN Homoepitaxial Films Grown on Polished Substrates by Different Slurries
Yan Zhou, Hua Gong,Haimei Luo,Gaopan Chen,Guihai Luo, Liyan Pan,Guoshun Pan
ECS JOURNAL OF SOLID STATE SCIENCE AND TECHNOLOGYno. 2 (2025)
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